NAGANO长野计器 用于半导体行业的压力表 GW28

GW28 系列

用于半导体行业的压力表

用于半导体集成工艺

即使在半导体高纯度气体和腐蚀性气体环境等条件下，它也表现出优异的性能。

它在制造时充分考虑了气密性和清洁度，适用于半导体工艺，尤其是高纯度流体。

认证标准： ico_rohs

长处

・由于是φ28尺寸的小直径型，因此有助于节省集成安装件的空间。

・与传统的 C 型波登管相比，气体接触部分是简单的隔膜型，因此具有

易于清洁和充气的结构。

・与传统产品（小型波登管型）相比，气体接触部的内部体积约为 1/2，气体积聚的死腔

（气体接触部的内部体积）大大减少。

*选择压力表时，

请选择压力范围，使正常压力的上限在以下范围内，以便充分展示性能。

在恒压情况下：压力范围最大值的 3/4 或更小 在

压力波动的情况下：压力范围最大值的 2/3 或更小

此外，请确保所述气体接触部分的材料与被测流体兼容。