COSMOS新宇宙 半导体材料气体检测仪 XP-703DIII
规范型XP-703DIII 型检测目标气体半导体材料气体（砷化氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气）气体氮化法自动抽吸检测原理热线半导体胂磷化氢乙硼烷硅 烷水文学可检测的泄漏量2.53×10-7帕•米3/秒1.52×10-7帕•米3/秒1.01×10-7帕•米3/秒2.53×10-7帕•米3/秒5.07×10-7帕•米3/秒可检测浓度0.5 页/分钟0.3 页/分钟0.2 页/分钟0.5 页/分钟1.0
规范
型 | XP-703DIII 型 | ||||
检测目标气体 | 半导体材料气体（砷化氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气） | ||||
气体氮化法 | 自动抽吸 | ||||
检测原理 | 热线半导体 | ||||
胂 | 磷化氢 | 乙硼烷 | 硅 烷 | 水文学 | |
可 检测的泄漏量 | 2.53×10-7 帕•米3/秒 | 1.52×10-7 帕•米3/秒 | 1.01×10-7 帕•米3/秒 | 2.53×10-7 帕•米3/秒 | 5.07×10-7 帕•米3/秒 |
可检测浓度 | 0.5 页/分钟 | 0.3 页/分钟 | 0.2 页/分钟 | 0.5 页/分钟 | 1.0 页/分钟 |
响应时间 | 10 秒内（浓度为可检测浓度 3 倍的气体的灵敏度设置 [4]） | ||||
显示方法 | 间歇性的声音和闪烁的警报灯 | ||||
权力 | 2 节 AA 碱性电池 | ||||
连续使用时间*1 | 约 12 小时（AA 碱性电池）[常温常湿] | ||||
防护等级*2 | 相当于 IP22 | ||||
工作温度范围 | 0°C~+40°C 85%RH 或更低（无冷凝） | ||||
外形尺寸 | 宽 38×高 130×深 32 毫米（不包括突起部分） | ||||
质量 | 约 190 克（包括电池和皮套） | ||||
标准配件 | 皮套、排水过滤器、更换滤芯、附件、检查气体、手带、2 节 AA 碱性电池等。 | ||||