LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

典型应用场景

1. 半导体制造：

晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）

CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）

离子注入（BF₃/PH₃精确配气）

2. 新能源领域：

燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）

3. 制药行业：

生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）

4. 科研实验：

催化反应研究（多路气体并行控制）

质谱仪载气调节（0.1-10mL/min微流量）

环境模拟实验（温湿度联动控制）

技术发展趋势

智能化升级：

集成AI预测性维护功能

5G远程监控与参数优化

微型化发展：

MEMS流量传感器（芯片级集成）

适用于便携式分析仪器