LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3462L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
产品介绍
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3462L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3462L
质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。作为现代工业自动化过程控制的核心组件，MFC通过将质量流量传感器、控制阀和比例积分微分（PID）控制电路集成于一体，实现对流体流量的高精度闭环控制，典型控制精度可达±0.5%～±1.0%满量程（FS）。
质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。
型应用场景
1. 半导体制造：
晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）
CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）
2. 新能源领域：
燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）
锂电材料烧结（N₂/O₂混合控制））
3. 制药行业：
生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）
冻干机惰性气体保护（露点控制<-70℃）
无菌灌装环境控制（ISO 5级洁净度）
4. 科研实验：
催化反应研究（多路气体并行控制）
| 温度 | 压力规格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
技术验证数据
案例1：半导体刻蚀工艺
控制气体：Cl₂/HBr混合气
流量范围：50-200sccm
稳定性测试：8小时波动<±0.3%
案例2：燃料电池测试
氢气流量：0-5000sccm
