LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5100L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
产品介绍
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5100L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5100L
质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。作为现代工业自动化过程控制的核心组件，MFC通过将质量流量传感器、控制阀和比例积分微分（PID）控制电路集成于一体，实现对流体流量的高精度闭环控制，典型控制精度可达±0.5%～±1.0%满量程（FS）。
质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。
心技术架构
传感系统：
热式传感：基于King's Law原理，采用毛细管式或旁路式设计，温度分辨率达0.01℃
压差式传感：基于层流元件和压差传感器组合，适用于大流量范围（0.1-5000SLM）
科里奥利式：直接质量测量，精度可达±0.1%读数
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
气体隔膜隔离闽体及驱动装置，极大地减小闭死容积。这些特殊设计，可以增强气体的流通，降低污染物影响，使设备具备高澄换性，保证更长的使用寿命，也更适合于液化气体等优势。
关键性能指标
参数标准型号高性能型号
量程范围0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重复性±0.2% FS±0.1% FS
响应时间<1s<300ms
工作压力0.1-0.5MPa真空-10MPa
温度系数±0.05%/℃±0.01%/℃
