Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TS440
进气法兰VG150CF160ISO-B160 标准抽速N2 （升/秒）440N2 （带保护网） （升/秒）410H2 （升/秒）320最大压缩比N22×106H21×103最大气体流速※1、※2N2 （SCCM）10860启动时间（分钟）10~14停机时间（分钟）23~28极限压力※3（宾夕法尼亚州）< 1×10-5“（托尔，Torr）< 7.5×10-8允许的辅助压力（宾夕法尼亚州）
| 进气法兰 | VG150 CF160 ISO-B160 标准 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 440 |
| N2 （带保护网） （升/秒） | 410 | |
| H2 （升/秒） | 320 | |
| 最大压缩比 | N2 | 2×106 |
| H2 | 1×103 | |
| 最大气体流速※1、※2 | N2 （SCCM） | 10860 |
| 启动时间 | （分钟） | 10~14 |
| 停机时间 | （分钟） | 23~28 |
| 极限压力※3 | （宾夕法尼亚州） | < 1×10-5 |
| “（托尔，Torr） | < 7.5×10-8 | |
| 允许的辅助压力 | （宾夕法尼亚州） | 2000 |
| “（托尔，Torr） | 15 | |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧500 |
| 安装姿势 | 直立 （±10°） | |
| 质量 | （公斤） | 60 |
全级螺旋槽（螺纹槽）结构
能够在中低真空范围内排出大量气体
能够承受超过 300,000 次大气侵入
安全标准：NRTL/SEMI-S2/CE