Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TS50
进气法兰VG100CF100ISO-R100 系列抽速N2 （升/秒）25N2 （带保护网） （升/秒）23H2 （升/秒）13最大压缩比N22×106H250最大气体流速※1、※2N2 （SCCM）600启动时间（分钟）2.5~3.5°C停机时间（分钟）2.5~5极限压力※3（宾夕法尼亚州）< 1×10-4“（托尔，Torr）< 7.5×10-7允许的辅助压力（宾夕法尼亚州）1200
| 进气法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 系列 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 25 |
| N2 （带保护网） （升/秒） | 23 | |
| H2 （升/秒） | 13 | |
| 最大压缩比 | N2 | 2×106 |
| H2 | 50 | |
| 最大气体流速※1、※2 | N2 （SCCM） | 600 |
| 启动时间 | （分钟） | 2.5~3.5°C |
| 停机时间 | （分钟） | 2.5~5 |
| 极限压力※3 | （宾夕法尼亚州） | < 1×10-4 |
| “（托尔，Torr） | < 7.5×10-7 | |
| 允许的辅助压力 | （宾夕法尼亚州） | 1200 |
| “（托尔，Torr） | 9 | |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧80 |
| 安装姿势 | 直立 （±10°） | |
| 质量 | （公斤） | 11 |
全级螺旋槽（螺纹槽）结构
能够在中低真空范围内排出大量气体
能够承受超过 300,000 次大气侵入
安全标准：NRTL/SEMI-S2