OHKURA大仓 MF5100B 流量控制器
MF5100B 系列是一款质量流量计和质量流量控制器，兼具易用性和高性能，例如大流量范围、高温稳定性和三种模式的软启动功能。长处■ 流量范围广 流量范围广，从最小 5 SCCM 到最大 400 SLM。■高可靠性通过集成每个电路和优化机械系统，尽管体积小，但我们实现了高可靠性。■ 软启动功能主机内置的软启动功能是线性上升，时间可调（最长 70 秒），并以三种不同的模式运行（更改设置时、打开电源时、
MF5100B 系列是一款质量流量计和质量流量控制器，兼具易用性和高性能，例如大流量范围、高温稳定性和三种模式的软启动功能。
长处
■ 流量范围
广 流量范围广，从最小 5 SCCM 到最大 400 SLM。
■高可靠性
通过集成每个电路和优化机械系统，尽管体积小，但我们实现了高可靠性。
■ 软启动功能
主机内置的软启动功能是线性上升，时间可调（最长 70 秒），并以三种不同的模式运行（更改设置时、打开电源时、外部阀门关闭→打开时）。
■ 稳定性
高 温度稳定性为0.05%/°C，泄漏标准高达1×10-10Pa·m3/s（He）。