OHKURA大仓

OHKURA大仓 流量控制器/ MF1100B

OHKURA大仓 流量控制器/ MF1100B

MF1100B 系列是实现高性能和低价格的质量流量计和质量流量控制器。 有 5 SCCM ~ 20 SLM 的 15 个流量范围，因此您可以轻松地将其用于分析和工业用途。长处■ 高可靠性 通过集成内部电路实现了可靠性和紧凑性。■ 高兼容性 可以使用与我们的MF5100B 系列相同的管道连接、电源和设置装置。■丰富的外围设备提供外围设备，如端子、设置设备、电源和带连接器的电缆。型质量流量计质量流量控

MF1100B 系列是实现高性能和低价格的质量流量计和质量流量控制器。 有 5 SCCM ~ 20 SLM 的 15 个流量范围，因此您可以轻松地将其用于分析和工业用途。
长处

■ 高可靠性 通过集成
内部电路实现了可靠性和紧凑性。

■ 高兼容性 可以使用与我们的
MF5100B 系列相同的管道连接、电源和设置装置。

■丰富的外围设备
提供外围设备，如端子、设置设备、电源和带连接器的电缆。


型质量流量计质量流量控制器
标准范围低价产品通用产品低价产品通用产品
控制范围MF1121BMF1111BMF1171B（NC）
MF1181B（否）		MF1141B（NC）
MF1151B（否）
精度等级0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM
0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃
0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃
0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃
0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃		0.1~5 单晶片管 2~100 单晶管 0.04~2 单晶管
0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃
0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃
0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃
1.0~50 〃 20~1,000 〃 0.4~20 〃
控制范围－2~100%F.S
精度等级±2% FS 或更低± 1.5% FS 或更低±2% FS 或更低± 1.5% FS 或更低
线性±1% FS 或更低± 0.7% FS 或更低±1% FS 或更低± 0.7% FS 或更低
再现性± 0.2% FS 或更低± 0.2% FS 或更低± 0.2% FS 或更低± 0.2% FS 或更低
响应时间收敛时间在设定值的 ±2% F.S. 以内，约 3 秒内
最大工作压力1.0MPa
压力1.5MPa
压降5.0 百帕
工作压差－5SCCM~5SLM ： 34~275kPa
10~20SLM ： 69~275kPa
流量设置－0~5V 直流0~5V DC（标准）1
~5V DC（可选）
输出信号0~5V 直流0~5V DC（标准）1
~5V DC（可选）
工作温度范围5~45°C （相同气体温度）
安装姿态误差± 0.5% FS 或更低（安装姿势自由）
泄漏标准品1.013×10-9・m3/s（He） 或更低（典型值）
管道连接1/4 世伟洛克（标准），VCR（可选）
气体接触材料SUS316， 氟橡胶SUS316， 氟橡胶， 含氟聚合物
质量约 680 克约 800 克
功耗1VA 或更低3VA 或更低


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