Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TGkine 4200M-R

用■ 半导体制造设备■ FPD 制造设备■ 太阳能电池制造设备■ 玻璃、镜头等光学元件的加工■ 薄膜加工■ 加速器/空间环境试验设备■ 省电设计■ 设定参数、运行数据、异常历史等可存储在泵体内。* 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。■ 各种通信规格 EtherCAT 兼容■ 国际 CE/NRTL/SEMI-S2