Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TGkine2200M-R

省电设计设定参数、运行数据、异常历史等可以存储在泵体内。* 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。各种通信规格 EtherCAT 兼容国际标准 CE/NRTL/SEMI-S2用半导体制造设备FPD 制造设备太阳能电池制造设备玻璃和镜头等光学元件的加工薄膜加工加速器/空间环境试验设备