Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TGkineMI3300B

对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们独创的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。

传统磁浮轴承涡轮分子泵反应产物的对策

一种加热包括目标部分在内的整个周围区域并分散热量的方法。 它不能被有效地使用。

・ 目标区域外的热效应

TGkineMI-B 系列的措施

除了通过外部加热器提高温度外，还可以有效地利用泵内部产生的吸入气体产生的摩擦热，有效地提高气体接触部分的温度

，减少外部加热器的输出功率，提高节能效果！

・减少对主要部件的热影响，减少对泵的损伤。

・保持最佳温度，防止在排气管中产生产品。

用

• 半导体、FPD、MEMS 制造等蚀刻设备

• 易产生反应产物的工艺设备