Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG2400M
进气法兰VG250ISO-B250 系列抽速N2 （升/秒）2400N2（带保护网） （升/秒）2300H2 （升/秒）1100最大压缩比N21×108H21,5×10%3极限压力VG/ISO-B （帕）<1×10-6VG/ISO-B （托）<7.5×10-9最大气体流速※1N2 （SCCM）3000启动时间（分钟）4~5停机时间（分钟）4~5允许的辅助压力（Pa / Torr）200
| 进气法兰 | VG250 ISO-B250 系列 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 2400 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 2300 | |
| H2 （升/秒） | 1100 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1,5×10%3 | |
| 极限压力 | VG/ISO-B （帕） | <1×10-6 |
| VG/ISO-B （托） | <7.5×10-9 | |
| 最大气体流速※1 | N2 （SCCM） | 3000 |
| 启动时间 | （分钟） | 4~5 |
| 停机时间 | （分钟） | 4~5 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 200 / 1.5 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧500 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 重量 （kg） VG・ISO-B | 45 | |
| 控制器类型 | TC010MA | |
| 特殊规格 （详情请咨询我们的销售代表。 ) | -化学形态反应 产物 TG-MI | |