Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG1300M
进气法兰VG200CF200ISO-B200 型抽速N2 （升/秒）1300N2（带保护网） （升/秒）1230H2 （升/秒）1200最大压缩比N21×108 H21,5×10%4 极限压力VG/ISO-B/CF （帕）<1×10-6 / <1×10-7 VG・ISO-B/CF （托）<7.5×10-9 / <7.5×10-10最大气体流速※1N2 （SCCM）3000启
| 进气法兰 | VG200 CF200 ISO-B200 型 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1300 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 1230 | |
| H2 （升/秒） | 1200 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1,5×10%4 | |
| 极限压力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6 / <1×10-7 |
| VG・ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
| 最大气体流速※1 | N2 （SCCM） | 3000 |
| 启动时间 | （分钟） | 4~5 |
| 停机时间 | （分钟） | 4~5 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 500 / 3.8 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧250 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 重量 （kg） VG/ISO-B/CF | 34 / 42 | |
| 控制器类型 | TC010MA | |
| 特殊规格 （详情请咨询我们的销售代表。 ) | -化学型 - 对应反应产物 TG-MI - 超低振动规格 TG-ML - 超高真空型 TG-MU - 耐辐射型 TG-MR | |