Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG420M
进气法兰VG150CF160ISO-B160 标准抽速N2 （升/秒）400N2（带保护网） （升/秒）370H2 （升/秒）300最大压缩比N21×108 H24,5×103 极限压力VG/ISO-B/CF （帕）<1×10-6 / <1×10-7 VG・ISO-B/CF （托）<7.5×10-9 / <7.5×10-10最大气体流速※1N2 （SCCM）2000启动时间
| 进气法兰 | VG150 CF160 ISO-B160 标准 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 400 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 370 | |
| H2 （升/秒） | 300 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4,5×103 | |
| 极限压力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6 / <1×10-7 |
| VG・ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
| 最大气体流速※1 | N2 （SCCM） | 2000 |
| 启动时间 | （分钟） | 2~3 |
| 停机时间 | （分钟） | 4~5 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 400 / 3 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧160 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 重量 （kg） VG/ISO-B/CF | 14 / 17 | |
| 控制器类型 | TC010MA | |
| 特殊规格 （详情请咨询我们的销售代表。 ） | -化学性质 - 反应产物对应 TG-MI - 超低振动规格 TG-ML | |