Osaka Vacuum大阪真空 磁浮轴承型涡轮分子泵 TG397M

省电设计运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中 * 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。各种通信规格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT国际标准：NRTL/SEMI-S2/CE