Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿态复合分子泵 TG2400F
型TG2400FTG2400F-40进气法兰VG250/ISO-B250 系列抽速N2 （升/秒）2400N2（带保护网） （升/秒）2300H2 （升/秒）1100最大压缩比N21×108H21,4×10%3极限压力（帕/托尔）<1×10-6/<7.5×10-9最大气体流速※1※2（SCCM）9001500启动时间（分钟）5-7停机时间（分钟）15-18允许的辅助压力（帕/托尔）20
| 型 | TG2400F | TG2400F-40 | |
| 进气法兰 | VG250/ISO-B250 系列 | ||
| 抽速 | N2 （升/秒） | 2400 | |
| N2（带保护网） （升/秒） | 2300 | ||
| H2 （升/秒） | 1100 | ||
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1,4×10%3 | ||
| 极限压力 | （帕/托尔） | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| 最大气体流速※1※2 | （SCCM） | 900 | 1500 |
| 启动时间 | （分钟） | 5-7 | |
| 停机时间 | （分钟） | 15-18 | |
| 允许的辅助压力 | （帕/托尔） | 200/1.5 | |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧500 | |
| 安装姿势 | 自由 | ||
| 质量 | 风冷/水冷 | 45/47 | |
| 控制器类型 | TC2403 系列 | TC2403-10 系列※3 | |