Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿态复合分子泵 TG1400F
型TG1400F进气法兰VG200/ISO-B200/CF200抽速N2 （升/秒）1400N2（带保护网） （升/秒）1300H2 （升/秒）750最大压缩比N21×108H24.3×103极限压力（帕/托尔）<1×10-6/<7.5×10-9最大气体流速※1（SCCM）450启动时间（分钟）5.5-7停机时间（分钟）15-18允许的辅助压力（帕/托尔）330/2.5推荐的辅助泵（升
| 型 | TG1400F | |
| 进气法兰 | VG200/ISO-B200/CF200 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1400 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 1300 | |
| H2 （升/秒） | 750 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 极限压力 | （帕/托尔） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大气体流速※1 | （SCCM） | 450 |
| 启动时间 | （分钟） | 5.5-7 |
| 停机时间 | （分钟） | 15-18 |
| 允许的辅助压力 | （帕/托尔） | 330/2.5 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧250 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 质量 | VG/ISO-B/CF（千克） | 29/30 |
| 控制器类型 | TC1103 系列 | |
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD 制造
・表面处理、表面改性
・各种电子元件的制造
・分析、检测设备
・管材、光学元件的制造
・加速器、放射线设施、聚变研究
・热处理
・研发
* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。