Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿态复合分子泵 TG1100F
型TG1100FTG1100F*A*-60/TG1100F*宽*进气法兰VG200/ISO-B200/CF200抽速N2 （升/秒）1100N2（带保护网） （升/秒）1000H2 （升/秒）720最大压缩比N21×108H21×104极限压力（帕/托尔）<1×10-6/<7.5×10-9最大气体流速※1※2（SCCM）330860启动时间※2（分钟）7-95.5-7停机时间※2（分钟
| 型 | TG1100F | TG1100F*A*-60/TG1100F*宽* | |
| 进气法兰 | VG200/ISO-B200/CF200 | ||
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1100 | |
| N2（带保护网） （升/秒） | 1000 | ||
| H2 （升/秒） | 720 | ||
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 极限压力 | （帕/托尔） | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| 最大气体流速※1※2 | （SCCM） | 330 | 860 |
| 启动时间※2 | （分钟） | 7-9 | 5.5-7 |
| 停机时间※2 | （分钟） | 27-32 | 12-15 |
| 允许的辅助压力 | （帕/托尔） | 330/2.5 | |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧250 | |
| 安装姿势 | 自由 | ||
| 质量 | VG/ISO-B/CF（千克） | 28/27 | |
| 控制器类型 | TC1104 系列 | TC1103 系列※3 | |