Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿态复合分子泵 TG450F
型TG450F 系列进气法兰VG150ISO-B160CF160抽速N2 （升/秒）450N2（带保护网） （升/秒）430H2 （升/秒）240最大压缩比N21×108H22×103极限压力（Pa / Torr）<1×10-6 / <7.5×10-9最大气体流速※1（SCCM）500启动时间（分钟）2-2.5停机时间（分钟）5-6.5允许的辅助压力（Pa / Torr）260 / 2
| 型 | TG450F 系列 | |
| 进气法兰 | VG150 ISO-B160 CF160 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 450 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 430 | |
| H2 （升/秒） | 240 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 极限压力 | （Pa / Torr） | <1×10-6 / <7.5×10-9 |
| 最大气体流速※1 | （SCCM） | 500 |
| 启动时间 | （分钟） | 2-2.5 |
| 停机时间 | （分钟） | 5-6.5 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 260 / 2 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧80 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 质量 | VG/ISO-R/CF（千克） | 7 / 10 |
| 控制器类型 | TC353 系列 | |