Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿态复合分子泵 TG350F
型TG350F 系列进气法兰VG100ISO-R100CF100抽速VG / ISO-R・CFN2 （升/秒）350 / 330VG / ISO-R・CFN2（带保护网） （升/秒）330 / 310VG / ISO-R・CFH2 （升/秒）210 / 210最大压缩比N21×108H22×103极限压力（Pa / Torr）<1×10-6 / <7.5×10-9最大气体流速※1（SC
| 型 | TG350F 系列 | |
| 进气法兰 | VG100 ISO-R100 CF100 | |
| 抽速 | VG / ISO-R・CF N2 （升/秒） | 350 / 330 |
| VG / ISO-R・CF N2（带保护网） （升/秒） | 330 / 310 | |
| VG / ISO-R・CF H2 （升/秒） | 210 / 210 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 极限压力 | （Pa / Torr） | <1×10-6 / <7.5×10-9 |
| 最大气体流速※1 | （SCCM） | 500 |
| 启动时间 | （分钟） | 2-2.5 |
| 停机时间 | （分钟） | 5-6.5 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 260 / 2 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧80 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 质量 | VG/ISO-R/CF（千克） | 6 / 9 |
| 控制器类型 | TC353 系列 | |