Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿态复合分子泵 TG240F
型TG240F 系列进气法兰CF100/ISO-R100 认证抽速N2 （升/秒）240N2（带保护网） （升/秒）230H2 （升/秒）160最大压缩比N21×108H24×104极限压力ISO-R（Pa/Torr）<1×10-6/<7.5×10-9CF（Pa/Torr）<5×10-7/<3.8×10-9最大气体流速※1N2 （SCCM）70启动时间（分钟）5.5-6允许
| 型 | TG240F 系列 | |
| 进气法兰 | CF100/ISO-R100 认证 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 240 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 230 | |
| H2 （升/秒） | 160 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×104 | |
| 极限压力 | ISO-R（Pa/Torr） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| CF（Pa/Torr） | <5×10-7/<3.8×10-9 | |
| 最大气体流速※1 | N2 （SCCM） | 70 |
| 启动时间 | （分钟） | 5.5-6 |
| 允许的辅助压力 | （帕/托尔） | 700/5.3 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧80 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 质量 | ISO-R/CF（千克） | 7.3/10.5 |
| 控制器类型 | TC245 （集成）※2 | |
| 输入电压 （V） | DC24V 直流 | |
| 最大功率要求 （W） | 75瓦 | |