Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿态复合分子泵 TG220F
型TG220F 系列进气法兰VG100/ISO-R100/CF100抽速N2 （升/秒）220N2（带保护网） （升/秒）210H2 （升/秒）100最大压缩比N21×108H24×102极限压力（帕/托尔）<1×10-6/<7.5×10-9最大气体流速※1（SCCM）400启动时间（分钟）1-1.2停机时间（分钟）2.5-3.5允许的辅助压力（帕/托尔）260/2推荐的辅助泵（升/分
| 型 | TG220F 系列 | |
| 进气法兰 | VG100/ISO-R100/CF100 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 220 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 210 | |
| H2 （升/秒） | 100 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×102 | |
| 极限压力 | （帕/托尔） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大气体流速※1 | （SCCM） | 400 |
| 启动时间 | （分钟） | 1-1.2 |
| 停机时间 | （分钟） | 2.5-3.5 |
| 允许的辅助压力 | （帕/托尔） | 260/2 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧80 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 质量 | VG/ISO-R/CF（千克） | 5.5/8 |
| 控制器类型 | TC223 系列 | |