Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG70F

• 控制器 紧凑的设计，带有集成涡轮分子泵（复合分子泵）的集成控制器。 没有输出电缆或单独的控制器，也不需要电缆管道或控制器机架。 它消除了繁琐的电缆布线工作，并且易于安装。 这解放了设备设计并有助于降低成本。 此外，还有两种类型的控制器可供选择：集成泵型和分离型
  
  

• 它可以从各个方向直接安装在
  设备上，具有灵活的安装姿势。 管道设计简单，可实现高效排气。
  
  

• 耐振动性和耐加速性耐
  振动性，即使在泵运行时也可以移动。 我们有良好的记录，即使在我们过去经历过的最大地震中也能重新启动。 它也可以安装在运动部件上，例如排气车和腔室门。
  
  

• 高压缩比
  H2最大压缩比105它对轻气体的排出有效。
  
  

• 通过简化紧凑的尺寸结构，
  可以实现小型化和轻量化。
  
  

• 快速启动
  更快，待机时间更短。
  
  

• 抗大气进入的结构由于
  它可以承受突然的压力上升，因此对于因泄漏而快速停止、频繁启动和停止以及反复进入大气也很有效。
  
  

• 可长期使用：
  适当检修后可长期使用。 * 泵的设计寿命为 100,000 小时或更长时间
  
  

• 它
  配备了一个符合 RS232C 标准的串行接口，能够作为标准进行串行通信。
  
  

• 仅符合 NRTL/SEMI-S2/CE*
  TG70F-20 安全标准

半导体制造

电子枪排气、离子源排气

FPD 制造

表面处理、表面改性

各种电子元件的制造

分析和测试设备

管材制造、光学元件制造

加速器、辐射设施、聚变研究

热处理

研发

* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。