Osaka Vacuum大阪真空 灵活姿势复合分子泵 TG60F
型TG60F 系列TG60F-20 系列进气法兰ISO-R63CF63（KF40） 铜※4抽速N2 （升/秒）60N2（带保护网）（升/秒）55H2 （升/秒）22最大压缩比N22×107H22×103极限压力ISO-R/CF （帕）<5×10-6 / <1×10-6ISO-R/CF （托）<3.8×10-8 / <7.5×10-9最大气体流速※1自然风冷 N2 （SCCM
| 型 | TG60F 系列 | TG60F-20 系列 | |
| 进气法兰 | ISO-R63 CF63 （KF40） 铜※4 | ||
| 抽速 | N2 （升/秒） | 60 | |
| N2（带保护网） （升/秒） | 55 | ||
| H2 （升/秒） | 22 | ||
| 最大压缩比 | N2 | 2×107 | |
| H2 | 2×103 | ||
| 极限压力 | ISO-R/CF （帕） | <5×10-6 / <1×10-6 | |
| ISO-R/CF （托） | <3.8×10-8 / <7.5×10-9 | ||
| 最大气体流速※1 | 自然风冷 N2 （SCCM） | 10 | |
| 强制风冷 N2 （SCCM） | 20 | ||
| 启动时间 | （分钟） | 1.5∼2 | |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 800 / 6 | |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧25 | |
| 质量※2 | ISO-R / CF（千克） | 3.4 / 5.4 | |
| 控制器类型※3 | TC65 系列 | TC66 系列 | |
| 输入电压 | DC24V 直流 | AC100-230V（±10%） | |
| 最大功率要求 | 120瓦 | 160 伏安 | |
时的最大允许流量 *2：TG60F。 对于 TG60F-20，它显示在右侧。 ISO-R 型：3 kg CF 型：5 kg
*3：可选择带泵和控制器集成的类型 （TC65） 或单独型 （TC66）。
*4：有关进气法兰 KF40 的规格，请另行与我们联系。