Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿态复合分子泵 TG50F
进气法兰VG65ISO-R63CF63 系列抽速N2 （升/秒）51N2（带保护网） （升/秒）49H2 （升/秒）12最大压缩比N21,4×10%7H25×102极限压力VG/ISO-R/CF （帕）<3×10-6VG・ISO-R/CF （托）<2.3×10-8最大气体流速※1N2 （SCCM）80启动时间（分钟）1-1.5停机时间（分钟）1-1.5允许的辅助压力（Pa / Torr
| 进气法兰 | VG65 ISO-R63 CF63 系列 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 51 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 49 | |
| H2 （升/秒） | 12 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1,4×10%7 |
| H2 | 5×102 | |
| 极限压力 | VG/ISO-R/CF （帕） | <3×10-6 |
| VG・ISO-R/CF （托） | <2.3×10-8 | |
| 最大气体流速※1 | N2 （SCCM） | 80 |
| 启动时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 停机时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 1330 / 10 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧50 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 质量 | VG/ISO-R/CF（千克） | 4.2 / 6 |
| 控制器类型 | TC64 系列 | |
极限压力保证环境温度为 10~23°C。 允许环境温度为风冷 10~32°C，水冷 10~40°C。 极限压力保证：冷却水温度不大于30°C，允许冷却水温度为10~35°C。
根据吸入气体
的类型，它可能会使轴承润滑脂和内部零件变质。 请联系我们了解兼容的气体类型。