【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 紧凑高性能辊涂机SRC-100V
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 紧凑高性能辊涂机SRC-100V【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 紧凑高性能辊涂机SRC-100V一、产品简介SRC‑100V 属于卷对卷紧凑型真空辊涂镀膜设备，适用于柔性薄膜基材，可用于工艺研发以及小批量卷材生产。设备一体化真空腔体设计，集成等离子预处理、磁控溅射、电阻蒸发成膜单元，占地面积小，能够在真空环境完成柔性基材的连续镀膜作业。二、核心规
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 紧凑高性能辊涂机SRC-100V
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 紧凑高性能辊涂机SRC-100V
一、产品简介
SRC‑100V 属于卷对卷紧凑型真空辊涂镀膜设备，适用于柔性薄膜基材，可用于工艺研发以及小批量卷材生产。设备一体化真空腔体设计，集成等离子预处理、磁控溅射、电阻蒸发成膜单元，占地面积小，能够在真空环境完成柔性基材的连续镀膜作业。
二、核心规格参数
极限真空：10⁻⁵Pa 级别
真空计：BA 电离真空计、电容真空计
加工基材：最大幅宽 100mm，50‑100μm 厚度柔性卷材
走带速度：0.2‑4m/min，支持正反转运行
真空腔体：SUS304 不锈钢，500×850×450mm
水冷卷辊：φ250mm 水冷收放卷辊，磁流体轴封
预处理单元：13.56MHz RF 等离子清洗电极
成膜源：最多 2 组直流磁控溅射源，可加装电阻蒸发源
主真空泵：1100L/s 涡轮分子泵，配置低温水汽捕集器
工艺气体：Ar、O₂、N₂，质量流量控制器供气
供电公用条件：三相 AC200V 100A，外接冷却水，占地约 4㎡
三、产品特点
紧凑型卷对卷整机，场地占用小，适配实验室研发和小批量试产。
卷辊采用磁流体轴封，真空密封性能好，卷材运转稳定无泄漏。
自带等离子预处理单元，有效提高薄膜与基材的附着力。
支持磁控溅射、电阻蒸发两种模式，可制备金属、氧化物多种膜层。
配置低温水汽捕集器，减少腔体内水汽，保证高真空下成膜品质。
走带速度可调，具备正反走带功能，工艺参数可保存复现。
四、应用领域
科研院所：柔性薄膜、功能膜层卷对卷镀膜工艺开发。
电子行业：柔性器件、导电薄膜卷材真空镀膜试验。
新材料研发：光学膜、阻隔膜等柔性基材成膜试验。
通用工艺：窄幅柔性卷材小批量真空卷绕镀膜生产。