【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-220ZC

一、产品简介

二、核心规格参数

1. 主泵：涡轮分子泵，抽速 220L/s

2. 辅助泵：ISP‑250C 涡旋干式真空泵

3. 极限压力：10⁻⁴Pa 级别空载

4. 启停时间：启动约 2.2 分钟，停止约 3.5 分钟

5. 进气接口：VG‑100 法兰口

6. 电源规格：AC100V 15A 单相供电

7. 整机重量：约 70kg

8. 外形尺寸：600×400×850mm

9. 冷却方式：风冷，无需冷却水配管

三、产品特点

1. 涡旋干泵作为前级，整套机组无油运行，彻底避免油蒸汽返流，获得洁净高真空环境。

2. 220L/s 大抽速，面对放气量大工件，可快速达到目标真空。

3. 风冷结构，无需铺设冷却水水路，现场布置简单，维护工作量少。

4. 单相 100V 市电供电，普通实验室供电条件即可使用，摆放灵活。

5. 带滚轮一体式整机，出厂阀组、控制系统装配完毕，现场对接腔体法兰即可投入使用。

6. 涡轮分子泵抗大气冲击性能良好，启停迅速；操作面板集成状态指示灯，故障提示直观。

四、应用领域

1. 科研实验室：对油污染敏感的中大腔体试样高真空脱气、各类真空工艺试验。

2. 真空设备配套：中型真空热处理炉、真空干燥机、镀膜设备无油排气系统。

3. 电子半导体：元器件、半导体零部件高洁净高真空烘烤脱气。

4. 新材料行业：粉体、陶瓷试样中大腔体无油高真空处理排气。

5. 通用工艺：需要 10⁻⁴Pa 无油洁净高真空的中大腔体抽气工况。