【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-220ZA
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-220ZA【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-220ZA一、产品简介TPS‑220ZA 为大抽速一体式涡轮分子泵高真空排气机组，配置 DW‑120 油回转辅助泵，整机风冷结构，带移动脚轮底座，阀门、控制单元全部预装集成。相比 50 系列抽气能力大幅提升，适配中大尺寸真空腔体，多用于真空炉、真空干燥、镀膜设备
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-220ZA
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-220ZA
一、产品简介
TPS‑220ZA 为大抽速一体式涡轮分子泵高真空排气机组，配置 DW‑120 油回转辅助泵，整机风冷结构，带移动脚轮底座，阀门、控制单元全部预装集成。相比 50 系列抽气能力大幅提升，适配中大尺寸真空腔体，多用于真空炉、真空干燥、镀膜设备配套，兼顾实验研发与中小批量生产工况。
二、核心规格参数
主泵：涡轮分子泵，抽速 220L/s
辅助泵：DW‑120 油回转真空泵
极限压力：10⁻⁴Pa 级别空载
启停时间：启动约 2.2 分钟，停止约 3.5 分钟
进气接口：VG‑100 法兰口
电源规格：AC100V 15A 单相供电
整机重量：约 56kg
外形尺寸：600×400×730mm
冷却方式：风冷，无需冷却水配管
三、产品特点
220L/s 大抽速分子泵，处理放气量大的腔体也可快速达到目标真空。
风冷设计，不用铺设冷却水水路，现场布置简单，减少后期维护。
100V 单相市电供电，普通供电条件即可使用，使用场景灵活。
带滚轮移动底座，整机成套出厂，现场仅对接腔体法兰即可投入使用。
涡轮分子泵抗大气冲击性能好，启停速度快，运行稳定可靠。
操作面板集成启停、状态指示灯，故障提示直观，便于操作人员观察设备运行状态。
四、应用领域
科研实验室：中大腔体材料试样高真空脱气、各类真空工艺实验。
真空设备配套：中型真空热处理炉、真空干燥机、小型镀膜设备排气系统。
电子行业：元器件、半导体零部件高真空烘烤脱气处理。
新材料行业：粉体、陶瓷试样中大腔体高真空处理排气。
通用工艺：需要 10⁻⁴Pa 高真空的中大腔体抽气工况。