【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZC

一、产品简介

二、核心规格参数

1. 主泵：涡轮分子泵，抽速 50L/s

2. 辅助泵：MZ‑2CNT 无油隔膜泵

3. 极限压力：10⁻⁵Pa 级别空载

4. 启停时间：启动约 3 分钟，停止约 3 分钟

5. 进气接口：VG‑65 法兰口

6. 电源规格：AC100V 15A 单相供电

7. 整机重量：约 45kg

8. 外形尺寸：600×400×700mm

9. 冷却方式：风冷，无需冷却水配管

三、产品特点

1. 隔膜无油前级泵，完全避免泵油挥发返流，实现真正无油洁净真空工况。

2. 风冷结构，不用铺设冷却水水路，现场布置简单，维护工作量低。

3. 100V 单相市电供电，普通实验室插座即可供电，使用场景灵活。

4. 带滚轮底座，一体式成套机组，现场只对接腔体法兰就可以投入使用。

5. 涡轮分子泵启停速度快，抗大气冲击性能好，快速达到目标真空度。

6. 控制面板集成启停、状态指示灯，故障提示直观，便于操作人员判断设备状态。

四、应用领域

1. 科研实验室：对油污染敏感的材料试样高真空脱气、各类小型真空实验腔体抽气。

2. 真空设备配套：小型真空热处理炉、真空干燥机、小型镀膜设备无油排气系统。

3. 电子半导体：元器件、半导体零部件高洁净高真空烘烤脱气。

4. 新材料行业：粉体、陶瓷试样无油污染高真空处理排气。

5. 通用工艺：需要 10⁻⁵Pa 无油洁净高真空的中小型腔体抽气工况。