【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA一、产品简介TPS‑50ZA 为一体式涡轮分子泵高真空排气机组,集成涡轮分子泵与 DW‑60 辅助泵,整机风冷设计,无需外接冷却水,插电即可投入使用。设备结构紧凑轻量化,可快速获得洁净高真空,适配实验室研发、小型设备配套,可对接真空炉、真空干燥、镀膜类设备
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【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA

主泵:涡轮分子泵,抽速 50L/s
辅助泵:DW‑60 油回转真空泵
极限压力:10⁻⁵Pa 级别空载状态
启停时间:启动约 3 分钟,停止约 3 分钟
进气接口:VG‑65 法兰口
电源规格:AC100V 15A 单相供电
整机重量:约 51kg
外形尺寸:600×400×700mm
冷却方式:风冷,不需要冷却水水路
风冷结构,省去冷却水配管,场地布置简单,减少维护工作量。
100V 单相电源供电,普通市电即可驱动,使用场景灵活。
铝制框架底座,整机重量轻,一体式移动底座方便移位摆放。
涡轮分子泵抗突发大气冲击性能良好,启停速度快,快速到达目标真空度。
成套集成机组,泵、阀门、控制单元全部预装完成,现场只需要对接腔体法兰即可。
操作面板集成启停、状态指示,故障可直观提示,方便操作人员判断设备状态。
科研实验室:材料试样高真空脱气、小型真空实验腔体排气。
真空设备配套:小型真空热处理炉、真空干燥机、小型镀膜设备排气系统。
电子行业:元器件、半导体零部件高真空烘烤脱气。
新材料行业:粉体、陶瓷试样高真空处理排气。
通用工艺:需要 10⁻⁵Pa 洁净高真空的小型腔体抽气工况。