SATOVAC佐藤

【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA

【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA一、产品简介TPS‑50ZA 为一体式涡轮分子泵高真空排气机组,集成涡轮分子泵与 DW‑60 辅助泵,整机风冷设计,无需外接冷却水,插电即可投入使用。设备结构紧凑轻量化,可快速获得洁净高真空,适配实验室研发、小型设备配套,可对接真空炉、真空干燥、镀膜类设备

【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA

【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 高真空排气装置TPS-50ZA


一、产品简介

TPS‑50ZA 为一体式涡轮分子泵高真空排气机组,集成涡轮分子泵与 DW‑60 辅助泵,整机风冷设计,无需外接冷却水,插电即可投入使用。设备结构紧凑轻量化,可快速获得洁净高真空,适配实验室研发、小型设备配套,可对接真空炉、真空干燥、镀膜类设备使用。

二、核心规格参数

  1. 主泵:涡轮分子泵,抽速 50L/s

  2. 辅助泵:DW‑60 油回转真空泵

  3. 极限压力:10⁻⁵Pa 级别空载状态

  4. 启停时间:启动约 3 分钟,停止约 3 分钟

  5. 进气接口:VG‑65 法兰口

  6. 电源规格:AC100V 15A 单相供电

  7. 整机重量:约 51kg

  8. 外形尺寸:600×400×700mm

  9. 冷却方式:风冷,不需要冷却水水路

三、产品特点

  1. 风冷结构,省去冷却水配管,场地布置简单,减少维护工作量。

  2. 100V 单相电源供电,普通市电即可驱动,使用场景灵活。

  3. 铝制框架底座,整机重量轻,一体式移动底座方便移位摆放。

  4. 涡轮分子泵抗突发大气冲击性能良好,启停速度快,快速到达目标真空度。

  5. 成套集成机组,泵、阀门、控制单元全部预装完成,现场只需要对接腔体法兰即可。

  6. 操作面板集成启停、状态指示,故障可直观提示,方便操作人员判断设备状态。

四、应用领域

  1. 科研实验室:材料试样高真空脱气、小型真空实验腔体排气。

  2. 真空设备配套:小型真空热处理炉、真空干燥机、小型镀膜设备排气系统。

  3. 电子行业:元器件、半导体零部件高真空烘烤脱气。

  4. 新材料行业:粉体、陶瓷试样高真空处理排气。

  5. 通用工艺:需要 10⁻⁵Pa 洁净高真空的小型腔体抽气工况。


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