【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-14
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-14【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-14一、产品简介SDP‑14 属于超大型工业油扩散高真空泵，不可单独运行，需搭配大功率油旋片前级泵串联组成高真空排气机组。依靠加热扩散油喷射超音速油蒸气射流完成排气，可低成本获取 10⁻⁵Pa 级别高真空。抽速相比 SDP‑10 大幅提升，适配超大型工业真空腔体，多用于大型镀膜产
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-14
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-14
一、产品简介
SDP‑14 属于超大型工业油扩散高真空泵，不可单独运行，需搭配大功率油旋片前级泵串联组成高真空排气机组。依靠加热扩散油喷射超音速油蒸气射流完成排气，可低成本获取 10⁻⁵Pa 级别高真空。抽速相比 SDP‑10 大幅提升，适配超大型工业真空腔体，多用于大型镀膜产线、重型热处理炉、航天空间模拟装置，可加装水冷挡板，抑制油返流，减少腔体以及工件污染。
二、核心规格参数
抽气速率：3600L/s（无挡板）；加装水冷挡板 2350L/s（1.3×10⁻³Pa 工况）
极限真空：可达 1×10⁻⁵Pa（洁净工况）
加热功率：4500W，三相 AC200V 供电
泵油量：1600mL 扩散泵专用油
启动预热时间：约 30 分钟
冷却方式：水冷，最小冷却水量 7.0L/min
临界背压：15Pa
进气法兰：VF‑320 接口
整机重量：120kg
三、产品特点
泵内部无旋转运动部件，运行平稳，机械故障率低，使用寿命长。
超大抽速，超大型腔体能够快速达到高真空，缩短抽气周期，提高产线节拍。
低成本实现 10⁻⁵Pa 高真空区间，可长时间连续工业运行，性能稳定。
可加装水冷挡板，有效抑制扩散泵油返流，降低工件、腔体的油污染。
搭配 SATOVAC 佐藤大功率油旋片泵即可组成完整高真空系统，法兰对接安装便捷。
维护简单，日常重点检查冷却水状态、泵油液位以及油质。
四、应用领域
光学行业：超大型镜片蒸镀、连续式量产镀膜设备。
热处理行业：重型真空淬火炉、退火炉、钎焊炉高真空排气。
科研航天：大型空间真空模拟舱、大尺寸材料处理腔体。
电子行业：大型器件真空封装、电子束工艺设备。
通用工艺：各类超大型腔体需要高真空的实验与量产设备。