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【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-10

【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-10【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-10一、产品简介SDP‑10 为大型工业油扩散高真空泵,不可单独使用,需要和大功率油旋片前级泵串联搭建高真空排气机组。通过加热扩散油喷射超音速油蒸气射流实现排气,可低成本获得 10⁻⁵Pa 级别高真空。抽速高于 SDP‑8,适配大型工业真空腔体,多用于大型镀膜产线、重型热处理炉、

【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-10

【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-10


一、产品简介

SDP‑10 为大型工业油扩散高真空泵,不可单独使用,需要和大功率油旋片前级泵串联搭建高真空排气机组。通过加热扩散油喷射超音速油蒸气射流实现排气,可低成本获得 10⁻⁵Pa 级别高真空。抽速高于 SDP‑8,适配大型工业真空腔体,多用于大型镀膜产线、重型热处理炉、航天科研装置,可加装水冷挡板,抑制油返流,减少腔体以及工件污染。

二、核心规格参数

  1. 抽气速率:2070L/s(无挡板);加装水冷挡板 1200L/s(1.3×10⁻³Pa 工况)

  2. 极限真空:可达 1×10⁻⁵Pa(洁净工况)

  3. 加热功率:1900W,单相 AC200V 供电

  4. 泵油量:820mL 扩散泵专用油

  5. 启动预热时间:约 25 分钟

  6. 冷却方式:水冷,最小冷却水量 5.0L/min

  7. 临界背压:15Pa

  8. 进气法兰:VF‑250 接口

  9. 整机重量:41kg

三、产品特点

  1. 泵内部无旋转运动部件,运行平稳,机械故障率低,使用寿命长。

  2. 超大抽速,大型腔体能够快速达到高真空,缩短抽气周期,提高产线节拍。

  3. 低成本实现 10⁻⁵Pa 高真空区间,可长时间连续工业运行,性能稳定。

  4. 可加装水冷挡板,有效抑制扩散泵油返流,降低工件、腔体的油污染。

  5. 搭配 SATOVAC 佐藤油旋片泵即可组成完整高真空系统,法兰对接安装便捷。

  6. 维护简单,日常重点检查冷却水状态、泵油液位以及油质。

四、应用领域

  1. 光学行业:大型镜片蒸镀、连续式量产镀膜设备。

  2. 热处理行业:大型真空淬火炉、退火炉、钎焊炉高真空排气。

  3. 科研航天:大型真空模拟舱、大尺寸材料处理腔体。

  4. 电子行业:大型器件真空封装、电子束工艺设备。

  5. 通用工艺:各类大型腔体需要高真空的实验与量产设备。


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