【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-6
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-6【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-6一、产品简介SDP‑6 属于工业级大抽速油扩散高真空泵，不可单独运行，需要与大功率油旋片前级泵串联组成高真空排气机组。通过加热扩散油喷射超音速油蒸气射流完成排气，能够以较低成本获得 10⁻⁵Pa 级别高真空。抽速相比 SDP‑4 有明显提升，适配大型真空腔体，多用于量产镀膜设备、
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-6
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-6
一、产品简介
SDP‑6 属于工业级大抽速油扩散高真空泵，不可单独运行，需要与大功率油旋片前级泵串联组成高真空排气机组。通过加热扩散油喷射超音速油蒸气射流完成排气，能够以较低成本获得 10⁻⁵Pa 级别高真空。抽速相比 SDP‑4 有明显提升，适配大型真空腔体，多用于量产镀膜设备、大型热处理炉、重工科研装置，可加装水冷挡板，抑制油返流，减少腔体与工件污染。
二、核心规格参数
抽气速率：810L/s（无挡板）；加装水冷挡板 465L/s（1.3×10⁻³Pa 工况）
极限真空：可达 1×10⁻⁵Pa（洁净工况）
加热功率：1000W，单相 AC200V 供电
泵油量：340mL 扩散泵专用油
启动预热时间：约 20 分钟
冷却方式：水冷，最小冷却水量 3.0L/min
临界背压：15Pa
进气法兰：VF‑160 接口
整机重量：20kg
三、产品特点
泵内部无旋转运动部件，运行平稳，机械故障率低，使用寿命长。
抽气速率大，大型腔体可以快速到达高真空，缩短抽气周期，提升产线节拍。
低成本实现 10⁻⁵Pa 高真空区间，支持长时间连续工业运转，性能稳定。
可加装水冷挡板，有效抑制扩散泵油返流，降低工件、腔体的油污染。
搭配 SATOVAC 佐藤油旋片泵即可组成完整高真空系统，法兰对接安装便捷。
维护简单，日常重点检查冷却水状态、泵油液位以及油质。
四、应用领域
光学行业：大型镜片蒸镀、连续式量产镀膜设备。
热处理行业：大型真空淬火炉、退火炉、钎焊炉高真空排气。
科研实验室：大型真空模拟舱、大尺寸材料处理腔体。
电子行业：大型器件真空封装、电子束工艺设备。
通用工艺：各类大型腔体需要高真空的实验与量产设备。