【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-4
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-4【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-4一、产品简介SDP‑4 为中大规格油扩散高真空泵，无法单独工作，需要和油旋片前级泵串联组成高真空排气机组。通过加热扩散油喷射超音速油蒸气射流完成排气，能够以较低成本获得 10⁻⁵Pa 级别高真空。抽速比 SDP‑3 更高，适配中大型真空腔体，多用于镀膜量产设备、中型热处理设备、大
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-4
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 油扩散泵SDP-4
一、产品简介
SDP‑4 为中大规格油扩散高真空泵，无法单独工作，需要和油旋片前级泵串联组成高真空排气机组。通过加热扩散油喷射超音速油蒸气射流完成排气，能够以较低成本获得 10⁻⁵Pa 级别高真空。抽速比 SDP‑3 更高，适配中大型真空腔体，多用于镀膜量产设备、中型热处理设备、大型科研实验装置，可加装水冷挡板，减少油返流造成的污染。
二、核心规格参数
抽气速率：380L/s（无挡板）；加装水冷挡板 215L/s（1.3×10⁻³Pa 工况）
极限真空：可达 1×10⁻⁵Pa（洁净工况）
加热功率：700W，单相 AC100V 供电
泵油量：150mL 扩散泵专用油
启动预热时间：约 20 分钟
冷却方式：水冷，最小冷却水量 1.5L/min
临界背压：20Pa
进气法兰：VF‑100 接口
整机重量：8kg
选配配件：水冷挡板、冷阱、真空阀门、扩散专用泵油、温控保护组件
三、产品特点
泵内部无旋转运动部件，运行平稳，机械故障率低，使用寿命长。
抽气速率大，可让中大型腔体快速达到高真空，提高生产节拍。
低成本实现 10⁻⁵Pa 高真空区间，抽气性能稳定，支持长时间连续运转。
可加装水冷挡板，抑制扩散泵油返流，降低腔体和工件的油污染。
搭配 SATOVAC 佐藤油旋片泵就可以搭建完整高真空系统，法兰对接安装方便。
维护简单，日常主要检查冷却水、泵油液位以及油质情况。
四、应用领域
光学行业：中型光学镜片蒸镀、元器件连续镀膜设备。
热处理行业：中型真空炉、钎焊炉、退火炉高真空排气。
科研实验室：大型材料处理腔体、表面分析、真空模拟装置。
电子行业：元器件真空封装、电子束工艺设备。
通用工艺：各类中大型腔体需要高真空的实验以及小型量产设备。