【高斯摩】SATOVAC 佐藤 油扩散泵 SDP-3
【高斯摩】SATOVAC 佐藤 油扩散泵 SDP-3【高斯摩】SATOVAC 佐藤 油扩散泵 SDP-3一、产品简介SDP‑3 是中型油扩散高真空泵，无法单独工作，需与油旋片前级泵串联组成高真空排气机组。通过加热扩散油喷射超音速油蒸气射流实现排气，能够以较低成本得到 10⁻⁵Pa 级别高真空。对比 SDP‑2 抽速更大，适配中等规格真空腔体，多用于小型量产镀膜设备、实验室中型高真空装置，可加装水冷
【高斯摩】SATOVAC 佐藤 油扩散泵 SDP-3
【高斯摩】SATOVAC 佐藤 油扩散泵 SDP-3
一、产品简介
SDP‑3 是中型油扩散高真空泵，无法单独工作，需与油旋片前级泵串联组成高真空排气机组。通过加热扩散油喷射超音速油蒸气射流实现排气，能够以较低成本得到 10⁻⁵Pa 级别高真空。对比 SDP‑2 抽速更大，适配中等规格真空腔体，多用于小型量产镀膜设备、实验室中型高真空装置，可加装水冷挡板减轻油返流污染。
二、核心规格参数
抽气速率：280L/s（无挡板）；加装水冷挡板 150L/s（1.3×10⁻³Pa 工况）
极限真空：可达 1×10⁻⁵Pa（洁净工况）
加热功率：500W，单相 AC100V 供电
泵油量：100mL 扩散泵专用油
启动预热时间：约 20 分钟
冷却方式：水冷，最小冷却水量 1.0L/min
临界背压：20Pa
进气法兰：VF‑65 接口
整机重量：6kg
选配配件：水冷挡板、冷阱、真空阀门、扩散专用泵油、温控保护组件
三、产品特点
泵内部无旋转运动构件，运行平稳，机械故障率低，使用寿命长。
抽气速率高于 SDP‑2，满足中等腔体快速获取高真空的需求。
低成本实现 10⁻⁵Pa 高真空区间，整机抽气性能稳定。
可选配水冷挡板，抑制扩散泵油返流，降低腔体油污染。
可搭配 SATOVAC 佐藤油旋片泵搭建完整高真空系统，法兰对接安装便捷。
维护简单，日常主要检查冷却水、泵油液位以及油质状态。
四、应用领域
科研实验室：中型真空炉、材料表面分析设备、试样处理装置。
光学行业：中小型光学镜片蒸镀、元器件镀膜设备。
电子行业：元器件真空封装、真空焊接工艺设备。
通用工艺：各类中型腔体需要高真空的实验与小型生产设备。