OTSUKA 大塚电子

OTSUKA 大塚电子 彩色滤光片 / 彩色光刻胶测量装置 LCF 系列

OTSUKA 大塚电子 彩色滤光片 / 彩色光刻胶测量装置 LCF 系列OTSUKA 大塚电子 彩色滤光片 / 彩色光刻胶测量装置 LCF 系列一、基础信息设备型号:LCF 系列测量原理:紫外可见光谱透射、反射检测结合干涉膜厚解析,非接触无损测量检测对象:RGB 彩色滤光片、黑矩阵、彩色光刻胶,同时兼容 ITO、PI、OC 等膜层适配基板:玻璃、石英材质,可支持大尺寸显示面板基板光学配置:集成多波

OTSUKA 大塚电子 彩色滤光片 / 彩色光刻胶测量装置 LCF 系列

OTSUKA 大塚电子 彩色滤光片 / 彩色光刻胶测量装置 LCF 系列




一、基础信息

设备型号:LCF 系列测量原理:紫外可见光谱透射、反射检测结合干涉膜厚解析,非接触无损测量检测对象:RGB 彩色滤光片、黑矩阵、彩色光刻胶,同时兼容 ITO、PI、OC 等膜层适配基板:玻璃、石英材质,可支持大尺寸显示面板基板光学配置:集成多波段光源与高分辨率光谱检测组件运行环境:适配洁净车间,防尘、抗振动设计

二、技术参数

标配光谱范围:380–780nm,可选拓展至 230–1700nm光谱分辨率:≤1nm测量光斑:φ5μm~φ50μm,最小可达 φ3μm运动载台:全自动 XYθ 三轴载台,标准行程 300×300mm,可定制更大尺寸单点测量时长:<1 秒膜厚测量范围:1nm~50μm膜厚重复精度:≤±0.1nm色度精度:xy 坐标≤±0.002多层解析能力:最多支持 10 层薄膜结构分析,可输出折射率、消光系数自动化功能:具备自动对焦、像素对位、程序一键运行功能

三、可测项目

  1. 光学类:透射光谱、反射光谱、XYZ、Lab、xy 等色度参数、色差、光学浓度 OD

  2. 尺寸类:像素线宽、像素幅宽

  3. 膜层类:薄膜厚度、折射率、消光系数、多层膜结构分析

四、产品特点

  1. 功能集成度高,一台设备即可完成彩色滤光片与彩色光刻胶多项指标检测,无需搭配多台仪器。

  2. 微光斑设计,可针对单个 RGB 像素区域开展微区检测,满足精密制程管控要求。

  3. 三轴全自动载台支持全域扫描测绘,检测效率高,适合大批量样品连续检测。

  4. 可解析多层叠加膜系,精准分析彩色膜与导电膜、涂层组合结构的各项参数。

  5. 运行稳定,适配显示行业生产环境,可长时间不间断作业。

五、应用场景

  1. 显示面板生产:LCD、OLED 彩色滤光片、黑矩阵、彩色光刻胶的日常品质检测与均匀性筛查。

  2. 基板检测:面板基板表面 ITO、PI、保护层等功能膜层厚度与光学参数检验。

  3. 材料研发:彩色光刻胶、滤光片新材料配方调试、工艺参数优化。

  4. 品质分析:产品色差、膜厚异常溯源,制程良率统计与管控。

六、使用规范

  1. 设备放置在平稳、无尘、避光区域,远离强震动与电磁干扰。

  2. 取放基板与样品时轻拿轻放,避免划伤光学镜头和样品表面,保持光路洁净。

  3. 按照样品类型选用对应检测程序,非专业人员禁止修改核心参数与校准设置。

  4. 定期使用标准试片完成精度校准,长期停机做好防尘防护。


首页
产品
新闻
联系