OTSUKA 大塚电子 显微分光膜厚仪 OPTM-A1
OTSUKA 大塚电子 显微分光膜厚仪 OPTM-A1OTSUKA 大塚电子 显微分光膜厚仪 OPTM-A1全自动平台型显微分光膜厚仪，采用非接触光谱反射干涉检测，搭载精密电动载台，适合实验室及离线质检场景，可完成微区单点、大面积全域膜厚测绘，适配各类薄膜、晶圆、精密元件的高精度检测。一、基础信息测量原理：显微光谱反射干涉法，无损非接触检测光谱范围：230–800nm 紫外 - 可见光波段，标配氘
OTSUKA 大塚电子 显微分光膜厚仪 OPTM-A1
OTSUKA 大塚电子 显微分光膜厚仪 OPTM-A1
全自动平台型显微分光膜厚仪，采用非接触光谱反射干涉检测，搭载精密电动载台，适合实验室及离线质检场景，可完成微区单点、大面积全域膜厚测绘，适配各类薄膜、晶圆、精密元件的高精度检测。
一、基础信息
测量原理：显微光谱反射干涉法，无损非接触检测光谱范围：230–800nm 紫外 - 可见光波段，标配氘灯、卤素灯双光源设备结构：主机、电动 XY 载台、显微光学系统、控制终端测量光斑：可选 φ5μm、φ10μm、φ20μm、φ40μm，最小可达 φ3μm通讯接口：USB、LAN整机形式：台式一体化，适用于实验室固定工位
二、技术参数
膜厚测量范围：1nm–35μm（二氧化硅换算）膜厚重复精度：≤±0.1nm单点测量时间：≤1 秒光谱分辨率：≤2nm杂散光：＜1%解析能力：最多支持 50 层薄膜结构分析，同步输出折射率、消光系数载台行程：支持大尺寸样品放置，可自动点位移动与全域扫描定位精度：载台重复定位精度高，满足微区精准复测需求
三、产品特点
搭载全自动电动载台，支持自定义点位、网格扫描与全域 Mapping，自动化程度高。
极小光斑设计，可针对芯片、线路、微图案等细微区域精准测厚。
紫外可见光宽波段配置，适配超薄膜、多层复合膜，光学常数同步解析。
光学结构可屏蔽基底背面反射干扰，玻璃、石英等基材测量数据更稳定。
操作界面简洁，配备简易操作模式，一键完成测量、拟合与数据导出。
非接触检测方式，不会损伤样品，可用于软质膜、贵重元器件检测。
四、应用场景
半导体领域：晶圆氧化膜、氮化膜、光刻胶、外延层、钝化膜微区检测。
显示行业：OLED 有机膜、ITO 导电膜、彩色滤光片、取向膜、光学补偿膜。
光学薄膜：增透膜、硬质涂层、偏振膜、滤光片等各类镀膜产品检测。
精密光学元件：透镜、棱镜、微型光电器件的镀膜厚度评测。
功能材料：柔性基板涂层、光学胶、防护涂层等样品品质检验。
五、使用规范
设备放置在平稳、无尘、避光环境，远离震动与强电磁干扰。
取放样品轻拿轻放，避免划伤光学镜头与样品表面，保持光路洁净。
依据样品结构选择对应分析模型，非专业人员不得更改核心参数。
定期使用标准试片校准设备，长期停机做好防尘防护。
六、使用方法
接通电源，启动设备与配套软件，完成设备预热及自检。
将待测样品放置在电动载台，完成位置固定与初步对位。
设置扫描模式、测量点位、薄膜参数等，启动测量程序。
设备自动完成扫描、数据采集与分析，查看并保存检测报告。
检测完毕取出样品，清理载台，依次关闭软件与设备电源。