【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S62

一、产品概述

二、核心规格

1. 气动驱动参数

   标准驱动气源压力 0.4~0.6MPa，启闭响应迅速，支持数十万次高频循环开关；提供常开、常闭两种结构，可直接对接 PLC 实现全自动产线程序控制。

2. 压力耐受指标

   介质最高工作压力 980kPa，阀体整体耐压 1.5MPa；阀门全关状态氦检内外泄漏量极低，可安全隔离硅烷、氯化氢等易燃、剧毒特种气体。

3. 材质与适用温度

   所有接触流体零部件均为 SUS316 不锈钢，一体式金属波纹隔膜搭配耐腐蚀 PCTFE 阀座；工作温度区间 - 10℃～80℃，兼容惰性气体、氧化性气体、微量腐蚀特种介质，无有机物污染高纯工艺气。

4. 流通与安装结构

   为本系列流通能力最强型号，通径、流量系数高于 S54，可稳定输送大流量工艺气体；进出口采用标准 Rc1/4 内螺纹，适配洁净卡套管路；机身结构紧凑，支持面板嵌入式、气柜柜内集成两种安装方式，多阀集中排布节省设备空间。

5. 出厂洁净处理

   整机出厂经过完整脱脂清洗、纯水漂洗、真空高温烘干、氦气检漏全流程处理，无油污、粉尘残留，适配无尘车间高洁净生产环境。

三、产品核心优势

1. 超大通流设计，覆盖 RC1、RC2 小中流量型号无法满足的主管、量产设备大流量供气工况，单阀即可完成总路气源通断控制。

2. 全金属无油密封构造，不含任何有机密封件，面对腐蚀性特种特气不会析出杂质污染介质，大幅降低晶圆、光伏电池产品不良率。

3. 真空级低泄漏密封性能，阀门切断后几乎无气体渗漏，有效规避有毒、可燃特气泄漏带来的车间安全隐患。

4. 气动远程自动启闭，可集成全自动生产线，一键完成气路切换、腔体置换吹扫、气源安全隔离，减少人工介入操作。

5. 运行稳定性强，抗管路启停压力冲击、设备长期振动，不会出现误开关、关不严故障，支持 7×24 小时不间断循环运行。

6. 模块化可拆卸内部组件，金属隔膜、阀座可单独采购更换，无需整体更换阀体，大幅降低设备运维成本与停机时长。

7. 完美适配大仓全系调压、流量控制元件，整套管路压力、流量监测信号可接入配套控制器、记录仪完整留存工艺参数，满足半导体工厂生产溯源合规审核要求。

四、适用行业场景

1. 半导体量产线大面积外延、薄膜沉积大流量腐蚀特种气体总路自动切断；

2. 光伏电池连续式量产镀膜设备高纯供气主回路通断控制；

3. 实验室中大流量特种腐蚀气体分析、标定设备气路总阀切换；

4. 锂电池连续烧结炉、热处理生产线惰性保护气主管隔离开关；

5. 中型、大型真空反应装置、环保大流量标准腐蚀气体配气设备。