【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S54
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S54【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S54一、产品概述RC2 S54 属于 RC 系列大流通气动金属隔膜开关阀，同 RC2 S42 同机身系列，核心升级为更大通径、更高流通能力，适配中高流量特种工艺气体管路。整机采用焊接金属波纹隔膜密封，介质通路无橡胶件、无润滑油脂，洁净度与低泄漏性能符合半导体特气规范，气动驱动实现管路自动切断
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S54
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S54
一、产品概述
RC2 S54 属于 RC 系列大流通气动金属隔膜开关阀，同 RC2 S42 同机身系列，核心升级为更大通径、更高流通能力，适配中高流量特种工艺气体管路。整机采用焊接金属波纹隔膜密封，介质通路无橡胶件、无润滑油脂，洁净度与低泄漏性能符合半导体特气规范，气动驱动实现管路自动切断、吹扫、回路切换。常搭配 RD 金属隔膜减压阀、MF 质量流量计、CF 稳流阀组成整套供气控制系统，用于中大流量高纯、腐蚀性特种气体自动化通断工况。
二、核心规格
驱动性能
气动驱动，标准驱动气源压力 0.4～0.6MPa；启闭响应迅速，可长期高频循环开关；支持常开、常闭两种规格，可对接 PLC 实现产线全自动程序控制。
压力参数
介质最高工作压力 980kPa，阀体耐压 1.5MPa；阀门关闭状态氦检泄漏等级优异，内漏、外漏量极低，可安全隔离可燃、有毒特种工艺气体。
材质与耐温
所有过流零部件均为 SUS316 不锈钢，金属波纹隔膜搭配耐腐蚀 PCTFE 阀座；适用温度区间 - 10℃～80℃，适配惰性气体、氧化气体、微量腐蚀性特气，无有机物析出污染介质。
流通与安装
流通孔径大于 RC2 S42，可稳定输送中大流量工艺气体；进出口为标准内螺纹，适配洁净卡套式气管；机身紧凑，支持面板嵌入式、气柜集成安装，多阀集中布置节省安装空间。
洁净处理工艺
出厂经过脱脂清洗、真空烘干、氦气检漏全流程处理，无油污杂质残留，适配无尘车间高洁净生产环境。
三、产品优势
大流量通径设计，覆盖 RC1 S32、RC2 S42 无法满足的中大流量供气需求，适配大面积镀膜、外延设备供气回路。
全金属无油密封结构，不含橡胶密封件，面对硅烷、氯化氢等腐蚀特气不会污染介质，有效降低晶圆、光伏产品不良率。
真空级低泄漏密封，阀门切断后几乎无渗漏，大幅降低剧毒、易燃气体泄漏带来的安全隐患。
气动远程自动启闭，可集成自动化产线，完成气路切换、腔体吹扫、气源隔离，减少人工操作。
运行稳定可靠，抗管路压力冲击、设备振动，不会发生误启闭，支持 7×24 小时不间断循环运行。
模块化分体结构，金属隔膜、阀座可单独拆卸更换，无需整体更换阀体，降低运维成本与停机时长。
可匹配大仓全系调压、流量控制元件，整套管路压力、流量数据可接入控制器、记录仪留存工艺参数，满足行业溯源审核标准。
四、适用行业场景
半导体大面积外延、薄膜沉积中大流量腐蚀特气自动切断；光伏电池量产镀膜高纯供气回路控制；实验室中大流量特种气体分析设备气路切换；锂电池连续式烧结炉惰性保护气总路隔离；中型真空反应设备、环保大流量腐蚀标准气体标定装置。