【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S42
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S42【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S42一、产品概述RC2 S42 为 RC 系列气动金属隔膜切断阀，对比 RC1 S32，阀内通径更大、流通能力更强，适配中流量特种气体管路。采用全金属波纹隔膜密封，介质通路无橡胶、无润滑油脂析出，洁净度与密封性达到半导体特气标准，依靠气动驱动实现管路自动化通断、隔离、吹扫切换。常配套 RD
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S42
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC2 S42
一、产品概述
RC2 S42 为 RC 系列气动金属隔膜切断阀，对比 RC1 S32，阀内通径更大、流通能力更强，适配中流量特种气体管路。采用全金属波纹隔膜密封，介质通路无橡胶、无润滑油脂析出，洁净度与密封性达到半导体特气标准，依靠气动驱动实现管路自动化通断、隔离、吹扫切换。常配套 RD 金属隔膜减压阀、MF 质量流量计、CF 稳流阀组成成套供气控制系统，多用于中等气量高纯、腐蚀性工艺气体管路。
二、核心规格
驱动与响应特性
气动驱动，标准驱动气源压力 0.4～0.6MPa；启闭反应迅速，可承受高频次循环开关；支持常闭、常开两种结构选型，可对接 PLC 实现全自动程序控制。
压力参数
介质最高工作压力 980kPa，阀体耐压 1.5MPa；阀门闭合后内漏、外漏指标优异，氦检低泄漏，可用于有毒、易燃特种气体安全隔离。
材质与使用温度
所有接触流体部件采用 SUS316 不锈钢，焊接式金属波纹隔膜搭配 PCTFE 耐腐蚀阀座；适用温度 - 10℃～80℃，兼容惰性气体、氧化气体及微量腐蚀性特种气体，不会污染高纯介质。
流通与安装接口
通径大于 RC1 S32，可稳定输送中等流量工艺气体；标配 Rc1/8、Rc1/4 内螺纹，适配洁净卡套管路；机身结构紧凑，支持面板嵌入式、柜内集成两种安装方式，多阀集中排布节省气柜空间。
出厂洁净处理
整机经过脱脂清洗、真空烘干、氦气检漏全套工序，无油污杂质残留，满足无尘车间高洁净生产要求。
三、产品优势
大通流设计，弥补 RC1 S32 仅适配微量气体的短板，满足外延、薄膜沉积等中等气量供气场景使用。
全金属无油密封结构，无有机密封件析出，面对硅烷、氯化氢等腐蚀特气，不会造成介质污染，减少产品不良率。
真空级低泄漏密封，切断后无气体渗漏，有效降低剧毒、可燃气体泄漏带来的安全风险。
自动化气动启闭，远程电控控制气路切换、腔体吹扫、气源隔离，减少人工操作，适配全自动生产线。
运行稳定性强，抗管路压力冲击、设备振动，不会出现误开关，可 7×24 小时不间断循环工作。
模块化可拆卸结构，金属隔膜、阀座可单独更换，无需更换整阀，降低设备维护成本与停机时间。
可与大仓全系调压、流量控制元件配套使用，整套管路工艺数据可接入控制器、记录仪存档，满足生产溯源审核要求。
四、适用行业场景
半导体外延、镀膜中等流量特种腐蚀气体自动切断；光伏薄膜沉积高纯供气回路通断控制；实验室中流量特种气体分析设备气路切换；锂电池热处理惰性保护气管路隔离；真空中型反应装置、环保腐蚀标准气体标定设备。