【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC1 S32
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC1 S32【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC1 S32一、产品概述RC1 S32 是微型气动金属隔膜式开关切断阀，属于 RC 系列洁净通断专用阀体，采用全金属波纹隔膜密封结构，无填料、无油脂接触介质，主打高纯微量气体管路快速通断切换。常搭配 RD 系列金属隔膜减压阀、MF 质量流量计、CF 稳流阀成套使用，用于半导体特气、实验室气体分析、环
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC1 S32
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能开关阀 RC1 S32
一、产品概述
RC1 S32 是微型气动金属隔膜式开关切断阀，属于 RC 系列洁净通断专用阀体，采用全金属波纹隔膜密封结构，无填料、无油脂接触介质，主打高纯微量气体管路快速通断切换。常搭配 RD 系列金属隔膜减压阀、MF 质量流量计、CF 稳流阀成套使用，用于半导体特气、实验室气体分析、环保在线监测、锂电池工艺供气系统，实现气路自动通断、气路切换、吹扫隔离控制。
二、核心规格
驱动与通断性能
采用压缩空气气动驱动，驱动气源标准 0.4~0.6MPa；开关响应速度快，启闭重复性稳定，适合高频次循环通断工况；常闭 / 常开结构可选，适配自动化程序控制。
压力参数
最高介质工作压力 980kPa，阀体耐压 1.5MPa；可适配真空至中压气体管路，关闭状态氦检泄漏等级极低，杜绝微量特气渗漏。
材质与耐温
介质接触面全部 SUS316 不锈钢，隔膜为金属焊接波纹膜片，阀座 PCTFE 耐腐蚀材质；适用温度区间 - 10℃~80℃，兼容惰性气体、氧气、氢气、微量弱腐蚀特种工艺气体，全程无有机物析出污染介质。
流通与接口
微型大通流设计，通径适配微量至中小流量供气；标准 Rc1/8、Rc1/4 内螺纹，适配洁净卡套管路；机身体积小巧，支持面板嵌入式、柜体集成安装，多阀密集排布节省气柜空间。
洁净工艺标准
出厂完整脱脂清洗、真空烘干、氦气检漏，满足半导体无尘车间高洁净制程要求，无粉尘、无油污残留。
三、产品优势
全金属隔膜无油密封结构，不含橡胶密封件，适配硅烷、氯化氢等腐蚀性、剧毒高纯特气，不会污染工艺介质，避免晶圆、电池产品不良。
极低泄漏密封等级，关闭后几乎无内漏外漏，大幅降低易燃、有毒特种气体安全隐患，提升车间防护等级。
气动自动通断，可对接 PLC 电控系统，实现远程自动化气路切换、腔体吹扫、气源隔离，无需人工手动操作。
宽温耐腐蚀通路，介质适配范围广，低温、弱腐蚀工况均可长期稳定运行。
抗振动、抗管路压力冲击，设备启停、气源压力波动不会出现误启闭，运行可靠性高，支持 7×24 小时连续循环工作。
模块化易维护，金属隔膜、阀座组件可单独拆卸更换，无需整体更换阀体，降低运维成本与设备停机时长。
完美适配大仓全系流体控制元件，整套管路压力、流量信号可接入控制器、记录仪留存完整工艺参数，满足行业生产溯源合规审核要求。
四、适用行业场景
半导体制造：掺杂、刻蚀、外延高纯 / 腐蚀特种气体管路自动切断、吹扫切换；
实验室气相色谱、质谱分析仪器气路自动化通断控制；
锂电池烧结、烘烤惰性保护气管路隔离开关；
环保气体在线监测、标准腐蚀气体标定设备气路切换；
小型真空反应装置微量高纯气体管路自动启闭。