【高斯摩】OHKURA大仓 金属隔膜减压阀 RD210A1

一、产品概述

二、核心规格参数

1. 压力指标（高压款 RD210A1）

• 最大一次输入压力：14.7MPa

• 阀体耐压：24.5MPa

• 标准输出压力档位：171.6kPa / 343kPa / 686kPa / 1372kPa / 2059kPa

• 有效流通孔径 φ0.7，CV 值 0.015，适配微量精密供气

• 一次压力波动特性：仅 0.5%，钢瓶压力衰减时输出几乎无漂移

2. 密封与泄漏性能

• 金属隔膜与阀体一体化金属熔接密封，无橡胶、无油脂接触介质

• 外部氦检泄漏率≤1.013×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，内部泄漏≤1.013×10⁻⁸ Pa・m³/s

• 出厂全部经过脱脂、纯水清洗、真空烘干、氦检漏，超高洁净等级

3. 材质与温度

• 过流部件：SUS316/SUS316L 不锈钢，阀座 PCTFE 耐腐材质

• 使用温度区间：-10℃～80℃，耐低温、弱腐蚀特种气体

4. 调压精度

• 压力再现性：±0.98kPa

• 迟滞误差：±3.92kPa，反复调压参数一致性高

5. 安装方式

   支持面板嵌入式安装、底部管路安装，标准内螺纹接口，适配洁净卡套管路，机身微型紧凑，气柜密集集成不占空间。

三、产品核心优势

1. 全金属隔膜无油密封

   摒弃橡胶膜片，金属焊接隔膜完全无润滑脂析出，适配砷烷、硅烷、氯化氢等半导体腐蚀特气，不会污染高纯介质，杜绝晶圆工艺缺陷。

2. 超高耐压适配高压钢瓶气源

   最高输入 14.7MPa，可直接对接高压特种气体钢瓶，无需前置粗减压，简化整套特气管路布局。

3. 稳压性能远超普通 PTFE 膜片减压阀

   一次气源压力大幅下降时，输出压力波动仅 0.5%，流量变化、管路启停冲击下压力稳定，保障后端 MFC、微阀配比精度恒定。

4. 极低泄漏真空级密封

   氦检泄漏等级达到真空设备标准，杜绝微量有毒、易燃特气外泄，提升车间安全系数。

5. 宽温耐腐，介质通用性强

   316L 不锈钢流体通路，兼容惰性气体、氧气、氢气、各类微量腐蚀性工艺气体，零下低温工况可稳定运行。

6. 模块化易维护

   调压手轮、金属隔膜组件可单独拆解更换，无需整体更换阀体，降低特气设备运维成本与停机时间。

7. 完整适配大仓全系流体元件

   后端可串联稳流阀、质量流量计，压力、流量数据可接入信号隔离器、记录仪留存工艺曲线，满足半导体工厂合规溯源审核。

四、适用行业场景

1. 半导体晶圆制造：掺杂、外延、刻蚀高纯 / 腐蚀性特种气体稳压；

2. 实验室化学分析、气相质谱仪器高压特种钢瓶气源调压；

3. 光伏薄膜沉积、锂电池特种保护气高压精密供气；

4. 环保在线监测、标准腐蚀气体标定装置；

5. 微量腐蚀、易燃、剧毒特种气体精密输送管路。