【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR122
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR122【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR122一、产品概述RR122 是 RR 系列高压输入型二级精密减压阀,对标同系列型号区分清晰:RR111:低压输入、一级、铝合金阀体RR121:低压输入、二级、316 不锈钢阀体RR112:高压输入、一级、铝合金阀体RR122:高压输入、二级、全 SUS316 不锈钢阀体采用两段式伺服平衡膜片减压结构
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR122【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR122一、产品概述RR122 是 RR 系列高压输入型二级精密减压阀,对标同系列型号区分清晰:RR111:低压输入、一级、铝合金阀体RR121:低压输入、二级、316 不锈钢阀体RR112:高压输入、一级、铝合金阀体RR122:高压输入、二级、全 SUS316 不锈钢阀体采用两段式伺服平衡膜片减压结构
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR122
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR122

RR111:低压输入、一级、铝合金阀体
RR121:低压输入、二级、316 不锈钢阀体
RR112:高压输入、一级、铝合金阀体
RR122:高压输入、二级、全 SUS316 不锈钢阀体
压力参数
最大输入气压 980kPa;输出设定压力区间 49~588kPa;工作最小压降 68.6kPa;全工况压力波动率控制在 0.5% 以内,进气压力大幅衰减时输出几乎无漂移。
材质与耐温
与介质接触部件整体 SUS316 不锈钢,内部 PTFE 无油脂密封膜片;工作温度 0~60℃,耐高温、耐弱酸碱工艺气体,无油脂析出污染高纯介质。
调压性能
二级缓冲稳压结构,调压灵敏度高、无调节死区;自带微量泄放功能,下调压力时快速缓释多余气压,调试效率高;重复设定压力再现性优异,适合批量稳定生产。
管路接口
标配 Rc1/8、Rc1/4 内螺纹,适配标准卡套洁净气管;支持气柜面板嵌入式安装,机身小巧,多阀密集集成节省安装空间。
运行维护
抗振动、抗管路启停瞬时高压冲击,可 7×24 小时连续运行;阀芯、膜片模块化独立配件,故障仅更换内部零件,无需整体更换阀体。
高压适配 + 二级稳压双重优势,直接接入高压气瓶无需前置粗减,两级缓冲消除钢瓶气压下降、气源切换带来的压力波动,后端流量控制更稳定。
全 316 不锈钢流体通路,对比铝合金 RR112,可耐受微量腐蚀性特种工艺气体,适用介质范围更广。
二级伺服平衡结构稳压精度远优于一级 RR112,对供气压力波动容忍度极低的精密镀膜、刻蚀工艺适配性更强。
无油洁净内部构造,满足半导体、锂电无尘车间高洁净标准,杜绝油脂污染腔体造成产品不良。
缓冲泄压防护设计,开关机无瞬时高压冲击下游 MF 流量计、MV 精密微阀,延长整套气路元件使用寿命。
可与大仓全系流体元件串联配套,压力、流量监测信号可接入 FX5000A 信号隔离器、控制器、记录仪,完整留存工艺曲线,满足生产溯源、合规审核要求。