【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR121
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR121【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR121一、产品概述RR121 属于 RR 系列二级精密减压阀,定位高于一级调压 RR111,采用伺服平衡式膜片结构,稳压精度、压力响应、流量稳定性全面升级。可搭配 MV1/MV2 微阀、CF/CFL 稳流阀、MF 系列质量流量计组成成套高纯配气系统,专门针对对供气压力波动容忍度极低的微量精密工艺,适配
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR121【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR121一、产品概述RR121 属于 RR 系列二级精密减压阀,定位高于一级调压 RR111,采用伺服平衡式膜片结构,稳压精度、压力响应、流量稳定性全面升级。可搭配 MV1/MV2 微阀、CF/CFL 稳流阀、MF 系列质量流量计组成成套高纯配气系统,专门针对对供气压力波动容忍度极低的微量精密工艺,适配
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR121
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR121

压力调节性能
多档位输出压力规格可选,调压分辨率极高;重复再现性可达 ±0.1% FS,压力感应灵敏度 0.1% FS,微小压力调节也能精准锁定数值;内置快速反馈膜片,进气压力骤升骤降时快速补偿稳压。
输入输出压力参数
适配标准高压钢瓶气源输入,经过两级缓冲减压,输出压力波动极小;具备微量泄压功能,低压区间调节无死区,避免低压工况调压失效。
阀体材质与耐温
整机 SUS316 不锈钢阀体,内部阀座、膜片采用无油脂 PTFE 密封,全程洁净无介质析出;适用介质温度 5~45℃,可耐受轻微弱腐蚀工艺气体,长期使用不会污染高纯氮气、氩气、特种工艺气。
管路安装接口
标配 Rc1/8、Rc1/4 内螺纹,兼容标准卡套洁净气管;支持柜体面板嵌入式安装,机身小巧,多阀体密集排布不占用气柜空间。
运行工况
抗振动、抗气流冲击,可 7×24 小时不间断连续运行;阀芯、膜片组件独立可拆卸,故障仅更换内部配件,无需整阀替换。
二级伺服平衡稳压结构,对比 RR111 一级减压阀稳压效果更强,钢瓶气压持续下降、管网频繁启停时,输出压力几乎无漂移,保障后端流量计、微阀工艺参数稳定。
超高调压灵敏度,低压微量供气工况下调节顺滑无迟滞,反复设定压力偏差极小,适合微量配比高精度工艺。
无油全不锈钢洁净构造,满足无尘车间、半导体镀膜刻蚀等高洁净制程标准,杜绝油脂析出造成产品不良。
自带微量泄压功能,设定压力偏高时自动缓释,不用完全关闭气源即可微调压力,调试效率更高。
抗压力冲击设计,开关机、切换气源不会产生瞬时高压冲击下游精密元件,延长整套气路配件使用寿命。
模块化易维护设计,膜片、阀芯可单独采购更换,大幅降低检修成本与停机时长。
适配整套大仓流体元件,后端流量数据可接入信号隔离器、控制器、记录仪完整存档,满足生产合规溯源审核要求。