【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR111
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR111【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR111一、产品概述RR111 是精密一级减压调压阀，专为微量高纯气体管路设计，用于将高压气源稳定降低至工艺所需低压，抑制进气侧压力波动，输出压力平稳无漂移。常搭配 MV 系列微阀、CF/CFL 稳流阀、MF 系列质量流量计组成成套配气系统，广泛用于半导体、实验室、锂电、环保检测等高洁净微量供气工况。二
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR111
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能减压阀 RR111
一、产品概述
RR111 是精密一级减压调压阀，专为微量高纯气体管路设计，用于将高压气源稳定降低至工艺所需低压，抑制进气侧压力波动，输出压力平稳无漂移。常搭配 MV 系列微阀、CF/CFL 稳流阀、MF 系列质量流量计组成成套配气系统，广泛用于半导体、实验室、锂电、环保检测等高洁净微量供气工况。
二、核心规格
压力调节区间
多规格可选，输出低压覆盖微量工艺常用压力段；输入最高压力可适配常规钢瓶高压气源，减压调节分辨率高，微小压力调节均可精准控制。
稳压性能
进气压力大幅波动时，内部膜片自动补偿，输出压力变化极小；关压、启停管路不会出现压力冲击，保护后端流量计、精密阀门。
阀体材质与耐温
标配 SUS316 不锈钢阀体，内部膜片、阀座采用 PTFE 无油脂密封，全程洁净无析出；介质适用温度 5~45℃，可耐受轻微弱腐蚀工艺气体。
管路接口
标准 Rc1/8、Rc1/4 内螺纹，适配卡套式洁净气管，体积小巧，支持气柜面板嵌入式安装，多阀密集布置不占用空间。
运行工况
抗振动、抗气流冲击，可 7×24 小时连续运行；内部零件可拆卸单独更换，无需整体更换阀体。
三、产品优势
高精度微量调压，适配小流量精密配气，调压手感顺滑，无调节迟滞，重复设定压力偏差小。
不锈钢无油洁净结构，不会污染氮气、氩气、氧气、氦气等高纯介质，满足半导体、锂电池洁净制程标准。
优异稳压补偿能力，钢瓶气压逐步下降、前端供气压力突变时，后端输出压力保持稳定，避免工艺气体配比失衡。
无冲击泄压设计，开关气源不会瞬间高压冲击下游精密元件，延长流量计、微阀使用寿命。
结构紧凑轻量化，便于集成在小型实验设备、工艺气柜内部。
易维护设计，膜片、阀芯可单独更换，检修成本低，减少设备停机时间。
四、适用行业场景
半导体镀膜、刻蚀高纯工艺气体减压；锂电池烧结、烘烤惰性保护气调压；实验室气相色谱、质谱分析仪器气源稳压；环保气体标定、在线监测设备供气调压；小型真空反应装置微量供气管路。