【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL1
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL1【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL1一、产品概述CFL1 属于低差压型自力式流量控制阀，是 CF 系列衍生专用型号，相比 CF1、CF2，工作所需压降更低，适配供气气源压差偏小的管路工况。依靠内置膜片机械结构自动补偿压力波动，无需供电即可稳定输出固定流量，常搭配 MV1、MV2 微阀、MF 系列质量流量计配套组成成套气路，适用
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL1
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL1
一、产品概述
CFL1 属于低差压型自力式流量控制阀，是 CF 系列衍生专用型号，相比 CF1、CF2，工作所需压降更低，适配供气气源压差偏小的管路工况。依靠内置膜片机械结构自动补偿压力波动，无需供电即可稳定输出固定流量，常搭配 MV1、MV2 微阀、MF 系列质量流量计配套组成成套气路，适用于低供气压力的高纯气体、微量洁净液体精密控流场景。
二、核心规格
流量区间
多细分规格可选，量程覆盖 10mL/min～30000mL/min，流量控制精度 ±2% 设定值；以氮气标定，可适配氩气、氦气、氧气、二氧化碳等常规工艺气体与低腐蚀洁净液体。
压差与压力参数
核心特点为低运行压降，适配管路压差不足的现场；最高工作压力 490kPa，耐压 784kPa；自带一体式手动微调针阀，调节无滞后，重复调节流量偏差小。
阀体材质与耐温
铝合金、SUS316 不锈钢两种阀体可选。铝合金最高使用温度 80℃，性价比高；不锈钢款耐温 110℃，可耐受轻微腐蚀性介质。内部采用无油脂 PTFE 密封膜片，洁净无析出，不会污染高纯介质。
管路接口
小流量规格 Rc1/8 内螺纹，中大流量规格 Rc1/4 内螺纹，适配标准卡套洁净管路，支持气柜内嵌、面板固定两种安装方式。
使用工况
介质与环境温度 5~45℃，湿度 10%~90% RH 无凝露；机身具备抗振动、抗管路启停压力冲击能力，支持 7×24 小时不间断连续运行。
三、产品优势
低差压适配设计，解决现场气源压差偏小，常规 CF1、CF2 无法正常稳流的痛点，适用工况更广。
纯机械自力式结构，无需外接电源与控制信号，安装调试简单，减少电控配套元器件投入。
双材质机身可选，兼顾成本、耐高温与防腐需求，适配不同生产介质条件。
内部无润滑脂结构，满足半导体、锂电池等高洁净制程标准，杜绝介质污染引发的工艺缺陷。
微调手轮调节精度高，反复开关后流量重复性稳定，保障批量生产工艺参数统一。
体积小巧紧凑，多阀集中排布时节省气柜内部安装空间，方便成套设备集成。
可串联流量计、精密微阀使用，流量监测信号可接入配套控制器、记录仪存储工艺数据，满足生产溯源审核要求。
四、适用行业场景
低供气压力工况半导体配气管路；实验室小型分析仪器微量载气供给；锂电池烘烤、烧结低压惰性保护气回路；环保气体标定、在线监测低压管路；小型真空反应设备、微量洁净液体输送装置。