【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CF2

一、产品概述

二、核心规格

1. 流量范围

   多规格型号可选，量程覆盖 10mL/min 至 30000mL/min，流量控制精度可稳定在设定值 ±2%，以氮气为标准标定介质，兼容氩气、氧气、氦气、二氧化碳及弱腐蚀微量液体。

2. 压力与压差

   标准工作压降 39.2kPa，最高工作压力 490kPa，耐压 784kPa；阀体自带手动微调针芯，调节无迟滞，重复定位精度高。

3. 材质耐温

   分为铝合金、SUS316 不锈钢两种阀体。铝合金最高使用温度 80℃，成本更低；不锈钢款耐温 110℃，可耐受轻微腐蚀性介质。内部密封件为无油 PTFE 膜片，不会污染高纯介质。

4. 管路接口

   小流量规格 Rc1/8 内螺纹，中大流量为 Rc1/4 内螺纹，适配常规卡套洁净管路，支持面板嵌入、柜体集成安装。

5. 使用环境

   介质、环境温度区间 5~45℃，湿度 10%~90% RH，无凝露；机身抗振动、抗管路启停压力冲击，可全天 24 小时连续稳定运行。

三、产品优势

1. 专门补偿后端压力变化，当反应腔体、吸附设备等后端负载压力起伏时，自动调节维持流量稳定，弥补 CF1 型号在变负载工况下的使用局限。

2. 纯机械自力式结构，无需供电、无需配套控制信号，安装完成即可自动稳流，简化电控和气路布局。

3. 双材质机身可选，兼顾经济型与防腐耐高温需求，适配不同工艺介质。

4. 内部无润滑油脂析出，满足半导体、锂电等高洁净生产要求，避免工艺介质污染造成产品不良。

5. 调节手轮微调分辨率高，多次开关、反复调节后流量重复性好，保证工艺参数统一稳定。

6. 可与流量计、微阀串联搭配，整套流体数据可接入配套控制器、记录仪留存完整工艺曲线，满足生产溯源审核要求。

7. 结构紧凑，体积小巧，多阀集中布置时节省气柜安装空间。

四、适用行业场景