【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CF1
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CF1【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CF1一、产品概述CF1 属于 CF 系列一次压波动专用自力式流量控制阀，区别于手动微调的 MV1/MV2 微阀，它具备自动稳压稳流功能，依靠内部膜片结构自主抵消入口压力波动，出口流量始终锁定在手动设定数值。适用工况：前端供气压力波动、后端腔体压力恒定的管路，常搭配 MF1100B/MF5100B 质
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CF1
【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CF1
一、产品概述
CF1 属于 CF 系列一次压波动专用自力式流量控制阀，区别于手动微调的 MV1/MV2 微阀，它具备自动稳压稳流功能，依靠内部膜片结构自主抵消入口压力波动，出口流量始终锁定在手动设定数值。适用工况：前端供气压力波动、后端腔体压力恒定的管路，常搭配 MF1100B/MF5100B 质量流量计配套，用于高纯气体、微量液体精密稳流，半导体、实验室、环保分析仪器主流稳流元件。
二、核心规格参数
工作逻辑与压差
CF 系列标准压降 39.2kPa；CF1 专为一次侧压力波动、二次侧压力稳定场景设计，管网压力起伏时自动补偿，流量无漂移。
流量区间
细分多子型号（CF111~CF126），覆盖 10mL/min～30000mL/min 全量程微小至中流量区间，控制精度≤设定值 ±2%。
材质与耐温
两种机身可选：高强度铝合金（最高 80℃）、SUS316 全不锈钢（最高 110℃，耐弱腐蚀介质）；内部密封为 PTFE 无油脂膜片，高洁净无析出。
压力指标
最高使用压力 490kPa，耐压 784kPa；内置手动微调针阀，调节无迟滞、重复定位精度高。
管路接口
小流量型号 Rc1/8 内螺纹，中大流量 Rc1/4 内螺纹，适配标准卡套洁净管路，支持面板嵌入式安装。
结构重量
铝合金款约 200~450g，不锈钢款约 450~1100g，机身小巧便于气柜密集集成。
三、产品核心优势
自力式自动稳流，无需电控信号，前端气源压力大幅波动时，仍能恒定输出设定流量，解决供气不稳导致的工艺偏差；
宽量程覆盖，从微量实验室配气到中大流量工艺供气单一系列全覆盖，减少阀体备件种类；
双材质机身可选，铝合金性价比高，不锈钢适配轻微腐蚀、高温特种气体；
配套原厂精密微调手轮，流量微调分辨率高，多次开关调节重复性优异；
无润滑脂洁净内部结构，不会污染氮气、氩气、氧气、特种高纯工艺介质；
机械结构稳定，抗泵启停冲击、设备振动，长期连续运行无需频繁校准；
可串联质量流量计组成完整配气回路，流量数据可接入 FX5000A 信号隔离器、记录仪、数据系统存档追溯。
四、适用行业场景
半导体晶圆镀膜、刻蚀工艺高纯载气稳流控制；
实验室气相色谱、质谱分析仪器载气恒定供给；
锂电池烧结、烘烤惰性保护气管路稳压限流；
环保气体在线监测、标准气体标定装置；
小型真空反应设备、微量化工液体精密输送管路。