【高斯摩】OHKURA大仓 高性能微阀 MV1

一、产品概述

二、核心规格

1. 流量性能

   以氮气标定，适配微量气体调节区间，不同压差下流量调节线性度好，微调分辨率高，微小开度即可精准改变流量，适合小流量工况精细管控。

2. 耐压能力

   最高工作压力可达 10bar，可匹配常规工艺供气管道压力。

3. 材质与耐温

   分为两款阀体：黄铜款最高使用温度 80℃；SUS316 不锈钢防腐款最高耐温 110℃，弱酸弱腐蚀气体环境可选不锈钢版本。

4. 机械结构特性

   直动式针芯设计，调节无迟滞、重复调节误差小；管路压力波动、设备振动时阀位不易偏移；阀芯、阀座独立可拆卸，损坏后单独更换，无需更换整阀。

5. 安装接口

   小型标准螺纹接口，可搭配卡套洁净管路，体积小巧，支持气柜内部多阀密集排布。

6. 洁净特性

   内部无润滑油脂析出，不会污染高纯氩气、氮气、氧气、氦气等工艺介质。

三、产品优势

1. 微量流量调节精度高，可辅助质量流量计实现极小流量的精细化控制，稳定工艺气配比；

2. 调节重复性优秀，多次开关、反复调节后流量数值偏差小，保障生产工艺一致性；

3. 洁净无油结构，适配半导体、锂电池等高洁净生产制程，避免介质污染造成产品缺陷；

4. 抗振动、抗管网压力冲击，泵体启停、供气压力波动时流量不易漂移，长期运行稳定；

5. 易维护设计，阀芯阀座单独备件，维修更换成本更低，减少停机时长；

6. 体积紧凑，集成安装便捷，节省气柜内部安装空间。

四、适用行业场景

1. 半导体晶圆镀膜、刻蚀高纯工艺配气管路微调；

2. 锂电池烧结、烘烤工序惰性保护气限流调节；

3. 实验室小型反应装置、气相分析设备微量配气；

4. 环保气体在线监测、气体标定仪器；

5. 小型真空实验设备微量供气控制。